技术编号：73739
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。发明领域本发明涉及例如微悬臂或纳米悬臂、微桥或纳米桥、微薄膜或纳米薄膜等基于微机械或纳米机械结构的装置领域。技术说明人们对基于微机械及纳米机械元件的系统及方法的兴趣正日益增长 (H. G. Craighead 所著的 “Nanoelectromechanical systems”，Science290，第 1532-1535 页(2000年))。微机电系统(MEMS)及基于微悬臂的装置是此种系统的两个相关的实例。现指出其几种应用，MEMS加速度计用于地震探测及监测、汽车气囊感测、以及惯性导航。类似技术用于血压监测。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。