技术编号：7379596
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的物联网射频收发机中的开孔混合梁振动能自供电微传感器，该微传感器以砷化镓衬底（4）为基底，由一个固支梁（1）和八个悬臂梁（2）构成，固支梁（1）两端的固支梁的锚区（3）固定在砷化镓衬底（4）上，八个悬臂梁（2）的尺寸相同,它们的锚区制作在固支梁（1）两侧的自由边上，每一侧有四个悬臂梁（2），且悬臂梁（2）之间的间隔一致。利用悬臂梁上设计不同的开孔的方法使得该开孔混合梁振动能自供电微传感器具有多种固有谐振频率，能够收集不同频率的振动能量，增大了频率带宽...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。