技术编号:7384998
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种原位多功能光电器件探针测试装置,设计了全新的测试装置,基于此装置,可以实现真空、氮气、氧气等各种不同环境下对光电器件的自动测试,通过探针触碰方式,实现密封测试腔体内全程自动化操作,实现了针对光电器件的保护,测试过程方便快捷,测试结果客观准确,并且大大提高光电器件的测试效率。专利说明一种原位多功能光电器件探针测试装置 [0001] 本发明涉及一种原位多功能光电器件探针测试装置。 背景技术 [0002] 目前,各种各样的光电器件被广泛用...
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