技术编号:7385454
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及新兴机械加工,公开了一种直线电机系统,包括直线电机和伺服控制器,所述伺服控制器包括控制输入、主控制器、从控制器和两个伺服器。还公开了应用上述直线电机系统的光刻机以及直线电机系统的控制方法。本发明的伺服控制器实时监控直线电机的运行,伺服控制器响应速度快,控制频率宽,控制随意度好。专利说明直线电机系统及其控制方法、应用该直线电机系统的光刻 机 [0001] 本发明涉及新兴机械加工,特别是一种直线电机系统及其控制方法、应 用该直线电机系统的光刻机...
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