技术编号:7390047
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于一种基于行波方式工作的新型结构微型超声电机。背景技术微电机广泛应用于各种微机电系统(MEMS)中。在各种微电机中,电磁型微电机由于其复杂的结构限制了其进一步微型化。利用集成电路制造工艺(IC工艺)制造的静电微型电机无法产生足够的输出功率。而超声微电机由于其小尺寸、大扭矩、高能量密度特性有利于装置的微型化而充满前景。超声微电机是利用压电陶瓷材料PZT或高分子PVDF薄膜材料的逆压电效应,通过转换压电振子的超声振动形成驱动能力,实现超声波振动能转...
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