技术编号:7393537
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种可调预紧力式惯性粘滑驱动跨尺度精密定位平台,平台包括外壳、与外壳固定安装的椭圆放大机构、位于椭圆放大机构上方的钳位机构、位于钳位机构上方的驱动机构、以及导向机构,导向机构为交叉滚柱导轨,驱动机构为驱动压电陶瓷,钳位机构包括与驱动机构粘接的钳位块和位于钳位块下方的钳位导轨,椭圆放大机构包括与钳位导轨相连的椭圆框架及位于椭圆框架内的钳位压电陶瓷,驱动压电陶瓷两端输入有用于控制钳位块左右运动的第一电压信号,钳位压电陶瓷两端输入有用于控制钳位导轨上...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。