技术编号：7418785
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于压电驱动器，具体涉及一种步进式纳米直线电机，适用于大行程、纳米级精度、双向直线驱动。背景技术在纳米技术的研究工作中，纳米级控制及定位被认为是纳米技术的核心之一，为纳米技术在各个领域的应用提供技术基础。纳米级微位移技术在光学工程、生物工程、超精密加工及测量等方面都有着广泛的应用。压电陶瓷驱动器因其体积小(几立方毫米 几十立方毫米)、位移分辨率高(纳米级)、响应速度快(几十微秒)、输出力大、换能效率高等优点，是目前微位移技术中比较理想的驱动元件，...
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