技术编号:7425105
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种往复位移驱动器,特别是一种微动量驱动连续纳米往复位移驱动器,属于纳米。背景技术 纳米技术依赖于纳米精度驱动、定位、位移测量及相关加工技术与设备。实现连续的纳米位移是纳米加工、操纵、测量等领域的关键技术。纳米位移驱动器在纳米加工、光通信、航海、航天、天文、光学等广泛的领域具有重要应用。采用传统的进步马达,要实现无振动及重复精度的纳米运动是不可能的。经对现有技术的文献检索发现,2001年美国专利号为US61948811,名称为Driveapp...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。