技术编号:7425388
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一.所属领域本发明属于电子电路,涉及一种电源的驱动电路,特别涉及一种等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)装置中脉冲电源的驱动电路。 二.背景技术 等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)装置中电源的作用是在特定温度的真空容器内,充入某些工作气体,由电源输出的高压加到容器内的两电极之间,使容器内的气体产生电离,从而为化学气相沉积薄膜材料提供物质准备。目前,PCVD用电源逐渐由直流电源向脉冲电源过渡,但所用脉冲电源大多为斩波式脉冲电源,输出脉冲电压峰值低。近年来申...
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