技术编号：7425400
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微机电系统的装置，具体是一种基于u+v型的柔性复合梁电热微驱动器。 背景技术微驱动器是微机电系统(MEMS)中实现微驱动功能的关键部件，其驱动位移 /力的大小、驱动效率的高低以及动作的可靠性等指标决定了系统的成败，已经 成为近年来国内外研究的热点之一。根据能源供给方式不同，微驱动器一般分为 静电型、电磁型、压电型、电热型等。静电型和电磁型微执行器必须在共振状态 或者高电压下工作才能得到大位移，此外它们产生的力也非常小。相比而言，压 电型和...
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