技术编号:7437710
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及直线电动机的电枢以及直线电动机。 背景技术对于例如在半导体制造装置或机床等的工作台传送中使用的直线电动机的电枢 以及直线电动机,为了提供小型、高推力的所谓推力密度高的直线电动机,例如,如1999年 7月2日公开的日本特许公报、即日本特开平11-178310号公报(日本特许第3944799号公 报)所述,提出了双侧式直线电动机。该双侧式直线电动机采用了所谓抵消吸引力的结构, 在该结构中,用2个电枢单元将用于励磁的永久磁铁的两侧夹在中间,或者,用2个...
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