技术编号:7445649
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及驱动装置,尤其是涉及一种基于相变水冷温控原理的超磁致伸 縮微位移驱动器。技术背景微位移驱动器在超精密加工、机器人、流体机械、振动控制、声纳系统等 领域获得了广泛的应用,目前应用较多的类型主要有机械式、液压式和压电式 等。机械式和液压式驱动器频响较低,输出力较小,输出位移难以满足高精度 要求;压电驱动器虽然位移分辨率和频响均比较高,但出力较小,易产生电击 穿,并会产生漂移现象。超磁致伸縮微位移驱动器具有大位移、强力、快响应、 高可靠性、低压驱动等优...
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