技术编号：7445795
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及应用在实现纳米级定位中，对于作为微动工作台驱动元件的钨青铜系列压电陶瓷驱动器的迟滞特性进行改善的方法。背景技术随着纳米测量技术的发展，对于能够实现纳米级定位的多自由度微动工作台的研究越来越受到人们的重视。微动工作台驱动元件的选择和使用直接影响着最终的性能指标。目前，在实践中采用的微小位移驱动元件有很多种，而压电陶瓷驱动器以其体积小、重量轻、驱动电压不高、精度和位移分辨率高、频率响应快、不发热、不产生噪声、承载力大等特性，成为微定位控制领域应用最广...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。