技术编号：7447004
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及利用电磁力的驱动装置及将它作为驱动源的半导体等的制造装置等中使用的XY工作台。背景技术 作为现有的半导体制造装置等的驱动源使用的驱动装置，例如有日本特开2001-288号公报(以下称现有例1)中公开的。在现有例1中这样记载着使励磁方向交替地将多个永磁铁配置在可动元件上，固定元件有两种磁心，多个缠绕了线圈的电枢串联配置。另外，在日本特开平11-262237号中这样记载着为了高精度地控制可动元件的位置、降低推力脉动，将检测可动元件的位置的位置传感器配...
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