压电致动器机构的制作方法技术资料下载

技术编号:7456541

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本发明涉及压电致动器机构,特别涉及利用压电振子驱动丝杠进给机构并对进给丝杠前端的安装部进行变位、角度调整或定位的压电致动器机构。背景技术例如,在光学设备的领域中,需要对透镜和反射镜等各种光学部件进行位置或角度调整并取得校准,从而进行精密定位,作为该用途的驱动源,公知有如下的电动致动器或基于使用压电振子的超声波电动机的压电致动器在电磁电动机的柱塞上连接减速机构,将其输出轴按压到反射镜保持架的一个面上。该超声波电动机具有如下功能通过对设于 压电振子中的电极施加...
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