技术编号:7465372
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS领域马达,特别是一种基于凸轮机构的可调输出位移的直线微马达,该装置利用右侧和上侧V型电热致动器阵列的交替工作,实现齿条滑槽的往复直线运动;利用凸轮的轮廓曲线,实现调节控制叉子型推杆的输出位移大小。背景技术随着MEMS技术的快速发展以及MEMS应用领域的扩展,对具有实用性的MEMS马达的研究和需求日益增多。在宏观机械运动中,往复直线运动和旋转运动之间的转换较为常见,通过凸轮、曲柄连杆、齿轮等就能实现转换。在MEMS领域,往复直线运动与旋动运...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。