技术编号:7485377
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种应用于数控机床、半导体设备制造等领域的的高精度永磁直线驱动器。背景技术传统机床系统中的部件的直线运动,大多数是将旋转电机转动通过齿轮、滚珠丝杠副类的传动机构转化为直线运动,这种传动结构存在齿隙、摩擦,导致电机加速性能低、 反冲、机构复杂以及冲击载荷能力低等问题,很难进行高精度的定位。直线驱动器是一种将电能直接转换成直线运动机械能而不需通过任何中间转换机构的新型直线驱动装置,可以弥补传统传动方式的不足,其速度高,加速度快,最大可达10倍重力...
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