技术编号:7488022
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及精密加工领域,特别涉及一种多自由度仿生压电驱动装置,可应用于超精密加工机床、材料试件纳米力学性能的检测、微机电系统、精密光学、航空航天和机器人等领域。背景技术近年来,随着科学技术的发展,微纳米技术在生命科学、微电子学、光学、超精密机械及其制造、精密测量医药卫生、半导体、生物化学、数据存储等学科领域中占据越来越重要的地位,微机械技术、微纳米测量技术、微纳米级的定位和驱动技术已成为当今世界高新的热门,各种形式各异的具有精密驱动、精密测量和精密定位...
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