技术编号：7494307
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。-本发明涉及一种电源，具体的说是一种射频离子电源。 背景技术现有的射频电源技术采用它激式石英晶体稳频，功率输出采用金属陶瓷四极管FU-100F。电子管与电缆之间采用匹配网络。电缆与负载之间，由匹配箱来实现匹配。由于电源的工作与负载的匹配连接完全是由电源与负载之间加装匹 配箱来完成负载之间的匹配。匹配的性能好坏直接影响到生产中镀膜的质量、 由于设备中电极参数不断的发生变化致使匹配性能难于控制，使操作工的操作 难度增加，同时产品质量也难以得到保证。发明内容本发...
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