技术编号：7494708
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种压电驱动与压电发电集成一体化装置，尤其涉及一种夹心式锥面压电驱动与发电一体化装置。 背景技术压电陶瓷具有正、逆压电效应，被广泛应用于微机电系统(MEMS)中。以压电效应 为基础的微驱动和微能源技术是MEMS理论与应用研究中的两个重要领域，也是实现MEMS 设计的关键。近年来，MEMS集成技术的飞速发展为微驱动和微能源的集成一体化研究提出 了更为严峻的挑战。另外，我国正面临着能源短缺和环境污染严重的现状，这严重制约了国 民经济的可持续发展。因此...
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