基于双稳态升频结构的mems宽频压电能量采集器的制作方法技术资料下载

技术编号:7495969

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本发明涉及的是一种能源的装置,具体是一种基于双稳态升频结构 的MEMS宽频压电能量采集器。背景技术微机电系统(MEMS Micro-Electro-Mechanical Systems)是在微电子技术基 础上发展起来的集微型机械、微传感器、微执行器、信号处理、智能控制于一体 的一项新兴的研究领域。随着无线传感器网络、嵌入式智能结构和可穿戴式健康 监测等功耗低、独立工作系统的迅速发展,对长寿命的独立电源供应技术的需求 越来越强烈。目前,环境振动能量采集技术是...
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