技术编号:7505502
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微型机器及其制造方法,具体地说,本发明涉及一种微型机器,其中一振动电极设置成跨过输出电极,在输出电极和振动电极之间存在一定空间,以及涉及这种机器的制造方法。背景技术 随着在基片上的显微制造技术的进步,微型机器技术正在引起人们的注意,该技术形成微型结构、电极、半导体电路等,用于控制在诸如硅基片、玻璃基片等基片上的微型结构的驱动。其中一种微型机器是在无线电通讯中用作高频滤波器的微型振动器。如图11所示,微型振动器100通过将振动电极103设置在被...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。