技术编号:7506287
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子机械系统(MEMS)加工工艺,特别是涉及一种体硅MEMS。背景技术 MEMS技术作为九十年代发展起来的一项跨学科新兴技术,对提高人民生活品质、以及军事国防具有无法替代的作用,并且对某些行业和领域有交叉和渗透融合的特征。由于MEMS自身的特点,使得在MEMS发展过程中,其研究领域和加工技术具有种类繁多、技术多样的特点。在众多的MEMS加工技术中,硅基加工工艺,由于可与传统IC工艺相互兼容的优势和加工手段多样等特点,成为MEMS科研人员普遍采用...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。