技术编号:7507136
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种采用离子束的压电谐振子的频率调整方法及频率调整装置。背景技术 以往,作为采用离子束的压电谐振子的频率调整方法,如特开昭63-151103号公报,提出了在阴极上配置多个压电谐振子,通过使从阳极放出的正气体离子粒子向阴极移动,均匀地蚀刻压电谐振子的电极的表面,在进行粗调整后,通过从离子枪对各个压电谐振子照射离子束,修整电极,而进行微调整的频率调整方法。在照射离子束的时候,为了不修整所需部以外的部分,在压电谐振子的前面配置掩模。可是,当在衬底基板上...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。