技术编号:7511629
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜体声波谐振器和滤波器,更具体地说,涉及包括空 腔的薄膜体声波谐振器和滤波器,该空腔位于谐振区的下方,在该谐振 区中上电极和下电极隔着压电薄膜彼此相对。背景技术因为诸如移动电话的无线装置的快速普及,所以对于小型且轻质的 谐振器和具有该谐振器的滤波器的需求不断增加。到目前为止一直主要使用介质滤波器和表面声波(SAW)滤波器。近来,压电薄膜谐振器和 包括压电薄膜谐振器的滤波器受到关注,它们尤其在高频方面具有很好 的特性并且可以小型化并进行单片集成。...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。