兰姆波型谐振子以及振荡器的制作方法技术资料下载

技术编号:7516115

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本发明涉及采用了兰姆波的兰姆波型谐振子和具有该兰姆波型谐振 子的振荡器。背景技术所谓兰姆波是通过将基板厚度削减至要传播的波的数波长以下、以 使在基板内部传播的体波反复在基板的上下表面反射而传播的板波。与距基板表面的深度1波长以内具有90%能量的瑞利波、泄漏声表面波、 模拟纵波型泄漏声表面波的表面波不同,兰姆波是在基板内部传播的体 波,所以能量分布于整个基板。根据非专利文献l,板波和瑞利波在学术 上也存在区别,在非专利文献2中示出瑞利波、泄漏声表面波的分析方...
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