具有高集成度的hbar共振器的制作方法技术资料下载

技术编号:7516244

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本发明涉及温度稳定且具有高集成度的高块体声波共振器(HBAR)型共振器、相 应的生成方法、以及包括至少一个这种共振器的振荡器和滤波器。背景技术机械共振器(即通过金属的机械加工制造,基于由金属壁限定的真空电磁腔)常 常用于电子振荡器的温度稳定以及用于在2GHz到20GHz频率范围内且以被动元件为基础 的多个信号处理应用(高选择性滤波、窄带检测、编码等),特别是在空间活动领域。这种装置被优化以针对其具体应用,例如当寻求使其质量或耦合系数最大化时。当调整机械共振...
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