技术编号：7517712
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种体声波薄膜共振器以及制造方法，特别是涉及一种可增加体声波共振元件信号阻隔的。背景技术近年来因为体声波薄膜共振器的元件尺寸可以缩得更小、频率特性更优异，且可提升整体无线通讯系统的品质及特性，因此体声波薄膜共振器(FBAR)因其较佳的特性成为开发重点，图5示出的一种内含多个体声波薄膜共振元件的体声波薄膜共振器10包含一硅基板11、一第一金属层12、一压电层13以及一第二金属层14，该第一金属层12形成在该硅基板11上，该第一金属层12具有多个下电...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。