原子振荡器及制造方法技术资料下载

技术编号:7518563

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本发明涉及,更具体而言,涉及发光元件、气室以及受光元 件形成为纵向层叠结构的原子振荡器及其制造方法。背景技术近年来,随着通信网和广播网等数字网络化的发展,对于用于生成传送装置的时 钟信号或广播电台的基准频率的时钟源等而言,高精度、高稳定性的振荡器是必不可缺的。 作为这种振荡器,大多使用振荡频率的精度、稳定性高的铷原子振荡器。此外,近年来,对原 子振荡器的小型化的要求变高,迫切需要实现包括气室在内的整体的小型化。与此同时,为 了降低单元成本,要求实现降低制造...
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