至少一阶和二阶温度补偿谐振器的制作方法技术资料下载

技术编号:7520704

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本发明涉及一种用于制造时基或频率基的游丝、MEMS或音叉类型的温度补偿谐振器,该谐振器的至少ー阶和ニ阶温度系数基本上为零。背景技术文献EP I 422 436公开了ー种由硅形成且涂覆有ニ氧化硅的游丝,以便使温度 系数在COSC (瑞士官方天文台表测试机构)认证过程温度一即,在+8°C和+38°C之间——附近基本上为零。类似地,文献W02008-043727公开了ー种MEMS谐振器,该谐振器在相同的温度范围内具有其杨氏模量漂移低的类似性能。然而,在上述文献中...
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