技术编号:7520704
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于制造时基或频率基的游丝、MEMS或音叉类型的温度补偿谐振器,该谐振器的至少ー阶和ニ阶温度系数基本上为零。背景技术文献EP I 422 436公开了ー种由硅形成且涂覆有ニ氧化硅的游丝,以便使温度 系数在COSC (瑞士官方天文台表测试机构)认证过程温度一即,在+8°C和+38°C之间——附近基本上为零。类似地,文献W02008-043727公开了ー种MEMS谐振器,该谐振器在相同的温度范围内具有其杨氏模量漂移低的类似性能。然而,在上述文献中...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。