技术编号：7521093
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子器件领域，特别涉及一种薄膜体声波谐振器及制作方法。 背景技术薄膜体声波谐振器(FBAR)是一种利用声学谐振实现电学选频的器件。FBAR的基 本工作原理当电信号加载到FBAR上时，器件中的压电薄膜通过逆压电效应将电信号转变 为声信号，器件特定的声学结构对不同频率的声信号呈现出选择性，实现频率调控的功能。快速发展的无线通讯技术(如移动通讯、无线传感网络)和雷达技术需要越来越多 的高性能集成微波振荡器和双工滤波器，它们分别被用于信号源和射频前端的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。