技术编号:7521301
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子,特别涉及一种双频滤波装置及其处理方法和半导体设备。背景技术等离子体设备广泛用于当今的半导体、太阳能电池、平板显示等制造工艺中。在目前的制造工艺中,已经使用的等离子体设备包括直流放电等离子体设备、电容耦合等离子体(Capacitively Coupled Plasma,简称CCP)设备、电感稱合等离子体(InductivelyCoupled Plasma,以下简称ICP)设备以及电子回旋共振等离子体(Electron CyclotronRe...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。