技术编号：7521394
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及声表面波器件，特别是涉及一种用于声表面波器件的氮化铝 压电薄膜及其制备方法。背景技术近年来，移动通信的飞速发展，使得无线电通信频带成为一个有限而宝贵的自然 资源。对于移动通信系统，低于IGHz的频带已被占满(第一代数字系统)；第二代数字系统 的频率从900 MHz到1.9 GHz ；在第三代数字系统中，全球漫游游游频率范围为1.8 2. 2 GHz，卫星定位系统(GPS)频率为1.575 GHz，低地球轨道新卫星通信(LEO)的应用频率范围 为1...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。