技术编号：7521776
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及声表面波气体传感器，特别涉及一种通过电子束蒸发二氧化钛(TiO2)与酞菁铜(CuPc)混合材料制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法。背景技术从80年代开始，声表面波(SAW)气体传感器的研制工作逐渐兴起，目前可以检测H2S, NO2, SO2, NH3等多种气体，运用声表面波技术研制成的传感器可以直接输出数字信号，因而具有得天独厚的优越性。SAW气体传感器与其他类型的传感器相比有很多优良的特性，具有体积小、重量轻、精度高、分辨率高、抗...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。