技术编号：7522556
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种横向体声波谐振器、制备该横向体声波谐振器的方法以及应用该横向体声波谐振器的振荡器，属于微机电系统(MEMS)领域。背景技术振荡器是广泛运用于电子工业中的用来产生重复电子讯号(通常是正弦波或方波)的电子元件。按照其工作原理，振荡器可分为阻容振荡器，电容电感振荡器，石英晶体振荡器等，以及近年来出现的新型MEMS振荡器。在过去相当长一段时间内，依靠出色的温度频率稳定性，较高的品质因素，传统的石英振荡器应用于几乎所有的电子产品之中，包括消费类产品，工...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。