技术编号:7525886
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子领域,尤其涉及一种薄膜体声波振荡器的温度漂移 补偿方法和电^^。背景技术薄膜体声波振荡器(FBAR)由于其高工作频率,高灵#文度,优良滤 波特性,低插入损耗,高功率承载能力,与集成电路工艺良好的兼容等特 性,近年来被广泛应用于无线通信系统中,如无线通信射频前端的双工器、 振荡器、谐振器及其他频率相关组件。另外,FBAR因为其高质量变化灵 敏度,易于封装,而且制造成本低等特点也越来越广泛地用做微质量传感 器,应用于化学和生物领域。大多数FBA...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。