技术编号:7526950
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供振子、振荡器、电子设备及移动体,所述振子可靠性品质高、振动特性稳定、且具有高Q值。MEMS振子(100)具备基部(21)、从基部(21)延伸出的多个振动片(22)、从基部(21)的振动的波节部延伸出的支承部(25)、与支承部(25)连接的固定部(23)、以及将固定部(23)配置到主面上的基板(1),多个振动片(22)与基板(1)相离。专利说明振子、振荡器、电子设备及移动体 [0001]本发明涉及振子、具备振子的振荡器、电子设备及移动体。 ...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。