技术编号:7533429
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制造电子器件的方法,更具体地来说,涉及用于半导体芯片的马区动器。背景技术如果电导线中的电流密度大到足以使得形成导线的原子/离子能够沿着导线移动,即,高电流密度,则产生了电迁移。特别地,引导电流通过导线的电子或者空穴给予了导线中的原子/离子足够的动力,从而导致了原子/离子的迁移。随着有足够大的电流通过,原子/离子沿着导线的迁移会在导线中产生空隙(void),并且造成了多余材料的积累。多余材料在其他地方沉积,通常在导线的角落沉积。这些空隙导致其周围的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。