具有晶种层的改进的谐振器的制作方法技术资料下载

技术编号:7534635

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本发明涉及声谐振器,具体说,涉及可作为电子电路滤波器的谐振器。背景技术 降低电子设备成本与大小的需要导致了对更小的电子滤波元件的不断需求。诸如移动手机、微型收音机的消费性电子产品,对于其中包含的组件的大小和成本都有严格的限制。而且许多这样的器件使用必须被调节到精确频率的电子滤波器。滤波器选择并通过那些处于希望通过的频率范围的电信号的频率成分,同时将那些处于希望的频率范围之外的频率成分消除或减弱。一类有可能满足这些需求的电子滤波器由薄膜腔声谐振器(FBAR,...
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