技术编号:7537251
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种共振器及共振器阵列。 背景技术近年,开发出一种利用半导体领域中的微细加工技术,将细微的机械构造与电子 电路形成一体的MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)技术,并正在研究对滤波器、 共振器的应用。其中,通过这种MEMS技术制造的微机械共振器适合用于远程无键登记系统 (remote keyless entry system)、波谱扩散通信等的RF无线。利用了通过这种MEMS技术 制造的微机械共振器的MEM...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。