压电薄膜谐振器与滤波器的制作方法技术资料下载

技术编号:7538830

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本发明一般涉及压电薄膜谐振器与滤波器,更具体地,涉及具有相互交叠的上电极和下电极,且一压电膜介于该上电极和下电极之间的压电薄膜谐振器,以及由这种压电薄膜谐振器形成的滤波器。背景技术 由于高频无线设备(如便携式电话设备)的快速发展,对在从900MHz至5GHz高频下使用的尺寸小、重量轻的高频滤波器的需求日益增加。在这个领域中,使用主要由表面声波器件制成的滤波器。最近,压电薄膜谐振器展示出了优异的特性(尤其是在高频),并且可以做得尺寸更小而变成单片型的设备,因...
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