技术编号：7540035
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子领域，特别地涉及振荡器。更具体地，本发明涉 及用于基于微机电系统(MEMS)产生电振荡信号的方法和系统。背景技术在电子应用的广泛领域中，例如微处理器和微控制器应用、通信应 用等等，使用石英晶体振荡器来产生具有或多或少精度值的基准频率。 典型地，石英晶体振荡器具有高品质因子并且非常稳定。然而，它们的 缺点是大体积元件，导致难以将它们集成到半导体衬底中。换句话说， 石英晶体振荡器不是很好的适用于高度集成的半导体解决方案。已经做出了不同尝试来设计...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。