技术编号:7540266
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。MEMS谐振器阵列结构及其操作和使用方法背景技术本发明涉及微机电或纳米机电谐振器阵列结构,以及设计、操作、 控制和/或使用这种体系的方法;更加具体地说, 一方面,涉及以机 械方式耦合以提供具有一个或多个频率的一个或多个输出信号的多 个微机电或纳米机电谐振器(例如,多个谐振器,其中至少有一个包 括一个或多个加强波节点,这些加强波节点能够支持基底的锚定,以 便使封装应力和/或通过基底锚定的能量损失造成的影响最小)。一般认为,高Q微机电谐振器是集成单片频率基准和...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。