技术编号：7541164
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种振荡设备及使用该设备的方法。在一个实施例中，设备包括具有保证质量的力传感器，该力传感器具有配置于其上的一个或多个感测电子隧穿电极，以及包括一个或多个参考电子隧穿电极的框架。配置于传感器基部及封盖晶圆上的导电板引起保证质量的振荡。感测及参考电极对以面对面的方式配置，因而形成以一个或多个闭合状态为特征的数字开关。在闭合状态中，开关产生触发事件，因而使得感测设备能够产生指示质量位置的数字输出。连续的触发事件之间的时间周期用于获取因外力导致的质量偏移。在触发事...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。