一种高品质因子的单端对声表面波谐振器的制造方法技术资料下载

技术编号:7541522

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本发明涉及一种高品质因子的单端对声表面波谐振器,包括一块压电基片(22)、置于压电基片(22)表面的一个叉指换能器(24),和分布在叉指换能器(24)两侧的第一反射器(23)和第二反射器(25);所述的第一反射器(23)和第二反射器(25)与叉指换能器(24)之间的边缘间距均为0.625λ,λ为声波波长。所述的叉指换能器(24)采用布莱克曼窗函数切指加权结构。所述的叉指换能器(24)、第一反射器(23)和第二反射器(25)均采用铝材料电极,电极占空比为1....
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