技术编号：7542085
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种压电，其中，该压电体波谐振器包括多层结构；衬底，衬底的表面具有至少一个凹槽，多层结构覆盖至少一个凹槽，通过形成的至少一个空腔构成压电体波谐振器的声反射结构；其中，在每个空腔中，多层结构向该空腔的底部凹陷，且不与空腔的底部接触；或者，多层结构向远离该空腔的底部的方向凸起，凸起的高度大于或等于预定凸起高度。本发明通过控制压电体波谐振器中的多层膜结构向下凹陷的程度以及上凸起的高度，确保压电体波谐振器的多层膜结构上下两侧具有良好的空气反射界面，从而...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。