一种频率和带宽可调的射频放大器的制造方法技术资料下载

技术编号:7544952

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本发明公开了一种频率和带宽可调的射频放大器,输入输出匹配网络包括中间的带状传输线、集总参数的电容、分布在带状传输线两侧的带状开路短截线和带状短路短截线,带状传输线、带状开路短截线和带状短路短截线的结构相同,带状传输线包括由上往下依次分布的金属栅层、二氧化硅层和原始高掺杂层;在金属栅层上加偏置电压后,原始高掺杂层内形成由上往下分布的沟道反型层、PN结层和后高掺杂层,二氧化硅层和PN结层作为绝缘层,金属栅层和后高掺杂层作为地,中间的沟道反型层作为传输导线,通过...
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