技术编号:7545329
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种MEMS压阻谐振器,包括衬底;输入电极,用于为振子提供交流电压信号以使振子振动;输入偏置电压电极,形成在衬底上并位于振动的波节处,用于为振子提供直流偏置电压信号,以使得响应交流电压信号所导致的振子的电阻变化而产生的感测电流流经振子;输出电极,位于振动的波节处,并与输入偏置电压电极相对设置,用于响应所述感测电流,输出频率信号;第一锚结构,用于将直流偏置电压信号传送到振子;第二锚结构,用于将感测电流传送到输出电极;振子,设置于输入电极之间,并通过...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。