技术编号:7546193
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种抑制压电振动片的谐振频率变动,制造良率高的压电器件及其制造方法。该压电器件包括压电振动片(140),形成着激振电极(141a);基底(130),保持压电振动片(140);第一盖板(120),在将压电振动片(140)收容于空腔(150)的状态下接合于基底(130),且包含将空腔(150)开口的开口部(122);及第二盖板(110),以将开口部(122)阻塞的方式接合于第一盖板(120)的表面侧;开口部(122)是形成于俯视下包含压电振动片(14...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。