技术编号：75479
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于超微小力值计量与测量技术领域。技术背景随着现代科学技术的发展，微机电系统(MEMS)中微尺度下构件的力学特性研究、 微观摩擦现象观测、微传感微机器人微装配中微力监测、液体表面张力分析、薄膜、纤维力 学性能研究、生物芯片以及生物体微组织力测量等，大量需要微小力值的测量。因此，微力 传感器研究、制作、生产也就蓬勃开展。然而，微力传感器本身的性能计量显得相对滞后。因 此研制一种使用方便、可溯源的超微力值计量测试仪器以提供IiT5N以下的基本力值标准 成为迫切的需要。发明内容本发明的目的提供一种可溯源的超...
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